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晶體生長(cháng)爐

晶體生長(cháng)爐

  • 所屬分類(lèi)：晶體生長(cháng)爐
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  • 發(fā)布日期：2021-06-29
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  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數

 晶體生長(cháng)爐

晶體生長(cháng)爐


項目(結構、材質(zhì)、參數)基本技術(shù)
全部鋼材用料304不銹鋼板
加熱爐內圓同心度爐膛內部同心度±13nm
爐膛內壁表面工藝整潔平整、無(wú)不規則缺口,不掉落碎塊
絕緣保溫材料材質(zhì)成型1400型氧化鋁制品,新型保溫材料
爐膛保溫材料材質(zhì)與物理性質(zhì)成型1600型氧化鋁制品,結構致密，高溫條件下強度好,不易碎,不掉落
外売的溫度60℃/100℃
長(cháng)期工作的溫度1300℃
加熱爐核心點(diǎn)位溫度900℃, 1150℃
溫升速率10-15℃/min
加熱溫區工作電壓三相基本平衡
加熱溫區的功率分配根據控制點(diǎn)溫度,確定加熱溫區功率
功率負荷<90%
加熱模塊圍護更換各自獨立,便于更換,形變控制
熱電偶數量每段溫區設置2個(gè),一個(gè)控溫,一個(gè)測溫


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晶體生長(cháng)爐晶體外延生長(cháng)爐石英脫羥爐
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